于式電火花加工原理：使用管狀電極，加工時，作為放電介質的高速氣體從管電極中噴出，起到了排除電蝕產物、恢復絕緣及冷卻電極和工件的作用，電極隨主軸旋轉。氣體在加工前排除水分，減少水分對加工的影響。國枝正典研究室對干式電火花成形加工和干式線切割加工都進行了較為深入的研究。對照實驗表明氣中加工的速度只有油中的1/10，但單個脈沖蝕除量的差別并不明顯。他們認為氣中加工速度低的主要原因是短路率過高。短路率實驗創造氣中加工時短路率有時甚至達到90%。為了降低短路率，研究人員在Z軸伺服系統中參加壓電驅動，此措施使短路率大大減小，加工速度得到較大進步，達到和油中加工相近的程度，壓電驅動和電極旋轉也為后來大多數研究人員采用。
干式電火花加工采用氣體和霧作為放電介質，與液中放電加工相比，具有放電能量和加工問隙小、對環境和操作者無污染、無火災隱患等優點。介紹了干式及準干式電火花加工技巧的發展和利用，包含干式成形銑削、干式線切割加工、氣中拋光、超聲振動幫助干式加工、霧中銑黼和鉆孔等。 電火花加工通常以電介質。
電火花加工通常以電介質液體作為工作介質，其作用有：①消電離;②使電蝕產物較易從放電間隙中排除;③冷卻電極和工件;④壓縮放電通道，增加等離子體的力。電火花成形加工最常用的放電介質為碳氫化合物油類，其電阻率、粘度、密度、表面張力等性能都符合電火花加工的請求。但也存在容易著火;對人體和環境有污染等毛病。
水基工作液在電火花線切割加工中利用廣泛，在某些成形加工中也有所利用。同油類工作液相比，水基工作液對環境和人體不利影響小，沒有火災危險，但也存在一些問題，如熱量喪失大，排屑效果不佳，由于急冷易形成白層，容易銹蝕機床。人們也曾嘗試過采用氣體作為工作介質，但受當時技巧條件限制，排屑、短路等問題難以解決。直到20世紀90年代，日本東京農工大學的國枝正典教授率先成功實現了干式電火花加工，才突破了電火花加工只能在液體介質中進行的認識，開辟了電火花加工的新方法，由此引起了人們的研究興趣。
在干式電火花加工的基礎上，上海交通大學和美國密西根大學分辨提出了以霧為介質的放電加工。霧作為加工介質加工同樣具有對環境和人體不利影響小，沒有火災危險等優點。由于霧的電學和熱學性質介于氣體和液體之問，故期望其能集二者之優點而避免它們的毛病。
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