廣州普拓維修德國Pfeiffer普發HiPace 80渦輪分子泵,進氣法蘭口DN 40/DN 63/DN 70(KF/CF) ,出氣法蘭口DN 16 ISO-KF / G,抽速可達到67 L/s,轉速為90000rpm,對應的控制器為: Pfeiffer TC110 。
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