Edwards STP451-U愛德華磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160K，出氣法蘭口KF40，抽速可達(dá)到450l/s，轉(zhuǎn)速為48000 rpm，極限壓力：1X10-7PA,對應(yīng)的控制器為： Edwards SCU-451， Edwards SCU-301。
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Edwards STP451-U愛德華磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160K，出氣法蘭口KF40，抽速可達(dá)到450l/s，轉(zhuǎn)速為48000 rpm，極限壓力：1X10-7PA,對應(yīng)的控制器為： Edwards SCU-451， Edwards SCU-301。
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