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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積 NSN70 隔熱膜

發(fā)布日期:2021-01-18 14:44:40  瀏覽次數(shù):96

西南某研究所在研究 NSN 隔熱膜試驗中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源濺射沉積 NSN70 隔熱膜并通過選擇合適的 AgCu 合金靶材NSN70隔熱膜的膜系設(shè)計與制備、樣品的形貌檢測、耐候性試驗、光學(xué)性能測試等多方面進行 NSN70 隔熱膜的研究.

 

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

型號

RFICP140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

試驗結(jié)論:

在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性同時能有效的解決 Ag 易硫化的難題.

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細(xì)信息或討論請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
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