真空泵排氣過濾器檢查： 真空泵運行時的檢查，使用真空泵油霧分離器壓力表檢測是否堵塞，當壓力表讀數位于紅色區域，說明油霧分離器已堵塞，必須更換。如果無油霧分離器壓力表，則油霧分離器的阻力由驅動電機電流的變化來測定，驅動電機消耗過的電流或真空泵的流量下降，說明油霧分離器已堵塞，必須更換。如果真空泵油霧分離器壓力表指示的壓力比通常低，或驅動電機消耗的電流比通常少，原因是有一個油霧分離器損壞，需要更換油霧分離器。 如果排放的氣體中含有油，原因是油霧分離器堵塞或損壞，須更換。真空泵油霧分離器不能徹底清洗干凈,必須更換堵塞的油霧分離器。
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