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羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。
特長
結凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學、半導體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備
機 型
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NB100A
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NB300A
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NB600A
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NB1200A
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項 目
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抽氣速率*3
m3/h（L/min）
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50Hz
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95(1580)
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280(4670)
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500(8330)
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1000(16667)
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60Hz
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115(1920)
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330(5500)
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600(10000)
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1200(20000)
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最大吸入壓力 Pa
(連續(xù)運轉(zhuǎn)時)
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50Hz
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1.3×103
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1.2×103
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1.3×103
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60Hz
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1.3×103
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9.3×102
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1.1×103
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最大允許壓力差 Pa
(排出壓力-吸入壓力)
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50Hz
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8.0×103
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4.0×103
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7.3×103
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60Hz
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6.7×103
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3.3×103
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6.0×103
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極限壓力 Pa*1
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4.0×10‐1
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6.7×10‐1
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標準粗抽泵
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GLD-N280
VDN301
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VDN401
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VSN1501
VSN2401
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VSN1501
VSN2401
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電 機
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kW (極) *2 *4
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0.4（2）
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0.75（2）
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2.2（2）
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3.7(2)
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V-Hz
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380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
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使 用 油
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ULVOIL® R-4
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所需油量 L
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0.35
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0.70
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1.50
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1.90
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冷卻水量 L/min*6
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空 冷
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2 *5
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2
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3
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進水壓力 MPa
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－
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0.3
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進出水壓差 MPa
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－
|
0.05
|
0.1
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重 量 kg
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24
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49
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77.5
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110
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吸氣口徑 (JIS B 2290)
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相當 VG50
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相當 VG80
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相當VG80
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相當VG100
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排氣口徑 (JIS B 2290)
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相當VF50
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相當VF80
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相當VF80
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相當VF80
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