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活塞干式真空泵通過氣缸內皮碗密封的往復運動
來形成真空狀態。泵速體積越大，泵機揚程數越高。
• 真空吸盤
• 半導體工業。（處理裝置，安裝器）
• FPD 工業。（貼合機）
• 印刷設備
• 注模
• 吸附與輸送 |
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單位 |
50Hz |
60Hz |
實際抽速
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L/min |
300 |
330 |
極限壓力
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Pa |
8.0 × 103 |
馬達
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三相, 200 – 230V, 400W, 4P |
滿載電流
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A |
2.1 |
2.5 |
重量
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kg |
20.0 |
進出氣管道直徑
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mm |
外徑16.0 × 內徑12.0 (Rc 1/2) |
環境溫度
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°C |
0 – 40 |
尺寸
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mm |
315(W) × 443(L) × 231(H) |
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