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• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
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• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
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單位 |
50Hz |
60Hz |
實際抽速
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L/min |
90 |
108 |
極限壓力
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Pa |
5.0 |
馬達
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單相, 100/115/200/230V,
150W, 4P, 電容啟動運行 |
滿載電流
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A |
2.6/1.3/1.6
(100/200/230V) |
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230V) |
重量
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kg |
14.0 |
進出氣管道直徑
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進氣管 KF-25 出氣管 KF-16 |
環境溫度
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°C |
5 – 40 |
水蒸氣處理
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g/天 |
≤5 (A.F. 開啟) |
尺寸
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mm |
214(W) × 308(L) × 225(H) |
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