 |
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
|
• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
|
|
|
| |
單位 |
50Hz |
60Hz |
實際抽速
|
L/min |
250 |
300 |
極限壓力
|
Pa |
1.6 |
馬達
|
單相 |
|
100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動運行
|
| 三相 |
200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P
|
滿載電流
|
單相 |
A |
4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)
|
4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V)
|
| 三相 |
1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415V) |
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V) |
重量
|
單相 |
kg |
25.0 |
| 三相 |
23.0 |
進出氣管道直徑
|
|
進氣管KF-25 出氣管 KF-16 |
環境溫度
|
°C |
5 – 40 |
水蒸氣處理
|
g/天 |
≤25 (A.F. 開啟) |
尺寸
|
單相 |
mm |
252(W) × 400(L) × 336(H)
|
| 三相 |
252(W) × 370(L) × 336(H) |
|
|
