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• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
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• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
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單位 |
50Hz |
60Hz |
實際抽速
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L/min |
500 |
600 |
極限壓力
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Pa |
1.0 |
馬達
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單相 |
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100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動運行 |
| 三相 |
200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P |
滿載電流
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單相 |
A |
8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
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2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V) |
| 三相 |
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V) |
2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V) |
重量
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單相 |
kg |
44.0 |
| 三相 |
38.0 |
進出氣管道直徑
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進氣管KF-40 出氣管 KF-25 |
環境溫度
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°C |
5 – 40 |
水蒸氣處理
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g/天 |
≤25 (A.F. 開啟) |
尺寸
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單相 |
mm |
290(W) × 443(L) × 397(H) |
| 三相 |
290(W) × 372(L) × 397(H) |
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電壓
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現行電壓 |
CE 認證 |
CSA 認證 |
單相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz)
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標準 |
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三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz)
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)
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標準 |
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