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原裝進口小型真空鍍膜裝置 VPC-260F愛發科真空泵參數

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產品價格: 260/人民幣 
最后更新: 2013-12-16 16:15:21
產品產地: 日本
發貨地: 上海 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 241
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  • 公司基本資料信息
    • 上海冬海機電科技有限公司
    • 俞先生先生 銷售經理
    • 會員[試用會員產品]
    • 郵件413272461@qq.com
    • 手機18817733356
    • 電話
    • 傳真
    • 地址上海市奉賢區望園南路1288弄卓越世紀中心6-1102室
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明
    VPC系列/小型真空鍍膜裝置


     
    特 性

    在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、真空管、電力系統、壓力測量口等必要機器的電阻加熱式低成本小型真空蒸發裝置。最適合用于小基板尺寸的基礎研究開發等實驗。
     
    應 用

    1.
    帶腳輪,容易移動的排氣裝置。
    2.
    通過玻璃鐘罩可看到內部,操作性能良好。
    3.
    不會使主泵停止運轉,可以對真空槽進行開放。
    4.
    通過蒸發電源和電極的追加,實現同時蒸鍍和多層蒸鍍。

    規格參數

    型 號
    VPC-260F
    真空性能
    極限壓力
    1.3 × 10-3Pa
    6.6 × 10-4Pa (使用液氮時)
    排氣時間
    4.0 × 10-3Pa/20min
    1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮時)
    真空艙
    鐘罩尺寸
    玻璃鐘罩 (直徑300mm × 300mm(H))
    饋通圈
    8個端口(8側面)
    標準基板・最大尺寸※1
    □50mm ・ □140mm(最大)
    供電系統
    蒸發電極結構
    1點式
    蒸發電源
    SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大)
    排氣系統
    主泵
    油擴散泵(氣冷) 200 L/sec
    液氮冷阱
    前級泵
    油旋片真空泵 100 L/min
    油霧過濾器
    可選
    操作系統
    主閥門
    瓣閥
    副閥門
    三向切換閥
    自動滲漏閥
    可選
    控制
    手動控制
    控制系統
    皮拉尼真空計
    可選
    電離真空計
    可選
    外形
    尺寸(主體)
    530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)
    尺寸(蒸發電源)
    480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
    重量(主體)
    75kg
    重量(蒸發電源)
    40kg
    ※1:不考慮基板最大尺寸時的膜厚分布值。

    條 件
                  
    型 號
    VPC-250F
    電源需求
    主體
    單相, 100V, 1.35kVA
    蒸發電源
    單相, 200V, 1.5kVA
    接地端子 D級(接地抗阻/100Ω 或更低)
    附件
    主體 : 單相, 100V
    乙烯絕緣軟電纜(帶插頭) 2m
    蒸發電源 : 單相, 200V
    乙烯絕緣軟電纜(R2.0-5帯端子) 2m

    外形圖

    VPC-260F

    蒸發電源 SEREM

    饋通圈

    標準構造



    可選部件
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