DEPOX系列／小型真空鍍膜裝置
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特 性
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在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、皮拉尼真空計(jì)、電離真空計(jì)、真空管、電力系統(tǒng)等必要機(jī)器的電阻加熱式小型真空蒸發(fā)裝置。DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。使用簡(jiǎn)單，最適合用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)。
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應(yīng) 用
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1.
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金屬與有機(jī)材料鍍膜裝置。
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2.
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真空排氣設(shè)備的多種組合。
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3.
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強(qiáng)化安全性與可靠性。
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4.
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多層鍍膜與同時(shí)鍍膜（最大：4 層）還配有額外蒸發(fā)電源與電極。
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5.
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玻璃鐘罩方便觀察與維護(hù)。
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型 號(hào)
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VFR-200M/ERH
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真空性能
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極限壓力
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8.0 × 10-4Pa
6.0 × 10-4Pa (使用液氮時(shí))
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排氣時(shí)間
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4.0 × 10-3Pa/15min
3.0 × 10-3Pa/15min (使用液氮時(shí))
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真空艙
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鐘罩尺寸
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玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H))
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饋通圈
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12個(gè)端口（8側(cè)面、4底面）
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標(biāo)準(zhǔn)基板・最大尺寸 ※1
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□50mm ・ □140mm（最大）
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供電系統(tǒng)
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蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)
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1點(diǎn)式
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蒸發(fā)電源
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SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
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排氣系統(tǒng)
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主泵
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油擴(kuò)散泵（氣冷） 200 L/sec
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液氮冷阱
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有
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前級(jí)泵
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油旋片真空泵 100 L/min
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油霧過濾器
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油霧過濾器 OMI-100
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操作系統(tǒng)
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主閥門
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蝶閥
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副閥門
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三向切換閥
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自動(dòng)滲漏閥
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可選
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控制
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手動(dòng)控制
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控制系統(tǒng)
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皮拉尼真空計(jì)
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GP-1G
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電離真空計(jì)
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GI-M2
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外形
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尺寸（主體）
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730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
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尺寸（蒸發(fā)電源）
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480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
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重量（主體）
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145kg
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重量（蒸發(fā)電源）
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40kg
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※1: 不考慮基板最大尺寸時(shí)的膜厚分布值。
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型 號(hào)
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VFR-200M/ERH
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電源需求
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主體
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單相, 100V, 1.4kVA
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蒸發(fā)電源
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單相, 200V, 1.5kVA
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接地端子
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D級(jí)（接地抗阻/100Ω 或更低）
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附件
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主體 ： 單相、100V
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乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m
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蒸發(fā)電源 ： 單相、200V
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乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 2m
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 VFR-200M/ERH
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蒸發(fā)電源 SEREM
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※根據(jù)研究和開發(fā)的目的、可以變更。
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※如果您單擊一個(gè)選項(xiàng)，您可以看到這個(gè)選項(xiàng)中的內(nèi)容。
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