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型 號
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VFR-200M/ERH
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真空性能
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極限壓力
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8.0 × 10-4Pa
6.0 × 10-4Pa (使用液氮時)
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排氣時間
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4.0 × 10-3Pa/15min
3.0 × 10-3Pa/15min (使用液氮時)
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真空艙
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鐘罩尺寸
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玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H))
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饋通圈
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12個端口（8側面、4底面）
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標準基板・最大尺寸 ※1
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□50mm ・ □140mm（最大）
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供電系統
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蒸發電極結構
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1點式
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蒸發電源
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SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
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排氣系統
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主泵
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油擴散泵（氣冷） 200 L/sec
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液氮冷阱
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有
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前級泵
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油旋片真空泵 100 L/min
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油霧過濾器
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油霧過濾器 OMI-100
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操作系統
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主閥門
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蝶閥
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副閥門
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三向切換閥
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自動滲漏閥
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可選
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控制
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手動控制
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控制系統
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皮拉尼真空計
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GP-1G
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電離真空計
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GI-M2
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外形
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尺寸（主體）
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730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
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尺寸（蒸發電源）
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480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
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重量（主體）
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145kg
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重量（蒸發電源）
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40kg
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VFR-200M/ERH
