真空壓電陶瓷電機

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壓電陶瓷電動機簡介：壓電陶瓷電動機是基于壓電現(xiàn)象產(chǎn)生超聲駐波的原理而開發(fā)的，應用于運動控制領域的精密電動機，也稱超聲波電動機。與直流電動機相似，具有高分辨率和壓電驅(qū)動裝置的動態(tài)特性。電動機工作時沒有內(nèi)在磁場和運動部件，結構緊湊，行程不受限制，能夠達到直線和旋轉(zhuǎn)電動機所不能匹敵的精度。壓電陶瓷電動機可用在從普通環(huán)境到超高真空環(huán)境的半導體設備、平面平臺設備、光學纖維制動態(tài)元件制造、存儲介質(zhì)制造和測試設備、生物醫(yī)藥和制藥、度量衡和超高精度的微型數(shù)控等設備中。                              壓電陶瓷電動機，給陶瓷電動機輸入驅(qū)動電壓后，壓電陶瓷產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，壓擠靠著一個陶瓷條的陶瓷指尖產(chǎn)生一個驅(qū)動力，驅(qū)動與之接觸的陶瓷條帶動直線或旋轉(zhuǎn)平臺產(chǎn)生運動。但沒有驅(qū)動電壓的時候，陶瓷指尖對陶瓷條的壓力使之在運動裝置上維持一個保持力矩，而不產(chǎn)生位移和滯后。

壓電陶瓷電動機)的運動控制系統(tǒng)具有如下功能和特點:
    (1)定位精確，分辨率可達1μm，精度10nm：
    (2)運動速度平穩(wěn)，最低10μm/s，最高250mm/s：
    (3)標準應答時間為50～75μs：
    (4)整定時間明顯優(yōu)于一般伺服電動機，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機的1/10：
    (5)定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題：
    (6) 重量輕，體積小：
    (7)行程無限制

Piezo Motor壓電陶瓷電機

Pizeo LEGS LINER 414212（直線式壓電陶瓷電機）

Pizeo LEGS R rotative 428252(旋轉(zhuǎn)式壓電陶瓷電機)

■   線性壓電陶瓷電機

●    Pizeo Wave Linear 0.1N

電壓：6-10V DC

驅(qū)動頻率：91-93KHz

速度范圍：50-150mm/s

推力：0.1-0.7N

●    Pizeo LEGS Linear 6N (真空型可選)

電壓：48V DC

最大行程：80mm

速度范圍：0-15mm/s

分辨率：<1nm

真空度：10^-7 torr

推力：>7N

●    Pizeo LEGS Linear Twin 20N (真空型可選)

電壓：48V DC

最大行程：80mm

速度范圍：0-10mm/s

分辨率：<1nm

真空度：10^-7 torr

推力：>20N  

●    Pizeo LEGS Linear Twin-C 300N (真空型可選)

電壓：65V DC

最大行程：20mm

最大速度：0.3mm/s

分辨率：<1nm

推力：>300N

尺寸：80*50*50mm 

●    Pizeo LEGS Linear Twin-C 450N (真空型可選)

電壓：65V DC

最大行程：20mm

最大速度：0.3mm/s

分辨率：<1nm

推力：>450N

尺寸：98*50*50mm

■   旋轉(zhuǎn)式壓電陶瓷電機 

●    Pizeo LEGS Rotary 50mNm (無磁,真空)

角度范圍：360°

速度范圍：0-20RPM

分辨率：< 1urad

堵轉(zhuǎn)力矩：>50mNm

保持力矩：> 55mNm

真空度：10^-7 torr

最大電壓：48V DC

尺寸：Ø23 x 34.1

●    Pizeo LEGS Rotary 80mNm (無磁,真空)

角度范圍：360°

速度范圍：0-20RPM

分辨率：< 1urad

堵轉(zhuǎn)力矩：>80mNm

保持力矩：> 90mNm

真空度：10^-7 torr

最大電壓：48V DC

尺寸：Ø23 x 34.1

壓電陶瓷平臺（轉(zhuǎn)角，位移）

■   角度壓電陶瓷電機平臺

角度范圍：+/- 10度

最小半徑：86mm

速度范圍： 0-7°/S

單位脈沖分辨率：0.01-60urad 

分辨率：< 10 nrad

負載范圍：0-8N

保持力：22N

最大電壓：48V

尺寸：60*20.7*20.4mm

■   直線壓電陶瓷電機平臺

行程：29mm

速度范圍： 0-10mm/S

單位脈沖分辨率：0.001-5um

分辨率：<1 nm

負載范圍：0-8N

保持力：22N

最大電壓：48V

尺寸：60*20.7*20.4mm