專業(yè)制造福潤德牌擴(kuò)散爐

產(chǎn)品價格：	10萬/人民幣
最后更新：	2014-08-15 17:04:42
產(chǎn)品產(chǎn)地：	山東青島
發(fā)貨地：	山東青島 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	48

公司基本資料信息

青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
岳曉茜小姐業(yè)務(wù)員
會員[試用會員產(chǎn)品]
郵件896337158@qq.com
手機(jī)15314229122
電話
傳真
地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園6號

產(chǎn)品詳細(xì)說明

擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： t可處理硅片尺寸：212英寸 t外型形式：臥式14管結(jié)構(gòu) t工作溫度：200℃1300℃ t恒溫區(qū)長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃ t單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h t溫度斜變：可控升溫速率15℃／min t可控降溫速率： 5℃／min t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟 t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管 t氣體控制：全自動MFC t控制方式：工控機(jī)、觸摸屏

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