從結(jié)構(gòu)上分為臥式、立式、箱式,從真空度上分為低真空、高真空,從使用溫度上分為低溫、高溫,從真空室材料上分為石英管、耐熱 不銹鋼管,從真空獲得上分機(jī)械泵、機(jī)械泵+擴(kuò)散泵、機(jī)械泵+分子泵。 設(shè)備用途:廣泛用于電力電子器件、玻封二級(jí)管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。 主要技術(shù)指標(biāo): ★工位: 單、雙、三工位 ★工作溫度: 300~1100℃(不銹鋼真空室最高1000℃) ★真空度: 優(yōu)于5×10-3 Pa ★真空室直徑:Φ150~300 mm ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度:400~1000 mm ★控制精度: ±1.0~3.0℃ ★爐體移動(dòng)速度:0~400 mm/min ★最大充氣壓力:0.5 MPa (不銹鋼真空室) ★加熱功率: 10~80 KVA ★控制系統(tǒng): 進(jìn)口儀表+PLC+觸摸屏 ★安全連鎖保護(hù):超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護(hù)報(bào)警