從結構上分為臥式、立式、箱式，從真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱 不銹鋼管，從真空獲得上分機械泵、機械泵＋擴散泵、機械泵＋分子泵。 設備用途：廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結、封裝、焊接、合金、退火等工藝。 主要技術指標： ★工位： 單、雙、三工位 ★工作溫度： 300～1100℃（不銹鋼真空室最高1000℃） ★真空度： 優于5×10-3 Pa ★真空室直徑：Φ150～300 mm ★恒溫區長度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★爐體移動速度：0～400 mm/min ★最大充氣壓力：0.5 MPa （不銹鋼真空室） ★加熱功率： 10～80 KVA ★控制系統： 進口儀表＋PLC＋觸摸屏 ★安全連鎖保護：超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護報警
