可完全代替進(jìn)口爐體，優(yōu)質(zhì)加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國(guó)外先進(jìn)加工工藝，爐體可長(zhǎng)期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。

設(shè)備特點(diǎn)：

可保存多條工藝曲線(xiàn)每條曲線(xiàn)可設(shè)置多步
工藝曲線(xiàn)的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
自動(dòng)運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能
可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
PID參數(shù)自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機(jī)界面
系統(tǒng)故障自診功能
停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
技術(shù)指標(biāo)：
可配置工藝管外徑2～8英寸
可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺(tái)
工作溫度范圍：400～1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h
最大可控升溫速率：15℃/min
最大降溫速率：5℃/min