太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。

擴散爐技術指標： 
     t可處理硅片尺寸：212英寸
     t外型形式：臥式14管結構
     t工作溫度：200℃1300℃
     t恒溫區長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
     t單點溫度穩定性、重復性： ≤±1℃/24h
     t溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
     t可控降溫速率： 5℃／min
     t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
     t氣路系統：15路工藝氣體／管
     t氣體控制：全自動MFC
     t控制方式：工控機、觸摸屏