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LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。
特點：
★關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。
★具有可編程的升、降溫功能。
★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。
★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。
★曲線間可以任意鏈接、重復。
★具有高抗干擾能力。
★具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。
★可為您提供斜滾式推拉舟系統，石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統。
主要技術參數：
★可配工藝管數量：1~4管/臺； ★工作溫度范圍：400～1300℃；
★恒溫區長度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃；
★單點溫度穩定性：600～1280℃±0.5℃/24h； ★最大可控升溫速度：15℃/min
★最大降溫速度：5℃/min
