程控擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統組成。選用工控機微控方式或程控方式操作。
機電之家網 - 機電行業權威網絡宣傳媒體
Copyright 2025 jdzj.com All Rights Reserved??技術支持:機電之家 服務熱線:0571-87774297
網站經營許可證:浙B2-20080178-4