石棉圈為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間在高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區溫度穩定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧防震,防腐蝕。
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