|
|
●擴散爐全自動控制系統是新一代擴散爐全自動系統,可實現溫度、推拉舟、MFC電磁閥等的全自動控制。無障礙工作時間大于8千小時。其控制精度及質量完全取代進口的同類產品。該系統操作方便、控制精確、穩定可靠、價格合理,特別適合國人的操作習慣。
●系統由DTC(數字溫度控制單元)、DPC(數字程序控制單元)和計算機系統。每個爐管都使用獨立的DTC和DPC控制,互不影響。四管擴散爐使用四臺DTC和四臺DPC,共用一臺工控計算機管理。工控計算機配套15″TFT高清晰液晶顯示屏。
●控制系統使用window/XP操作系統,可選擇中文或英文操作界面。先進的HMI人機界面、測量數據直觀顯示、可儲存數千條工藝曲線(每條曲線100步)等。式操作更方便、更可靠。該系統可廣泛應用在新擴散爐的升級改造。
●監控軟件主要由權限設置、監控視窗、設備組態、幫助彩單四部分組成。監控視窗主由圖視界面、數控監控界面、故障記錄界面、Recipe管理界面、Recipe編寫、數據去線記錄界面六個界面組成。