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工作溫度:300~1300℃ ◆有效口徑根據用戶擴散片確定,可訂制 ◆恒溫區長度:1080mm(可根據用戶要求定制) ◆溫區精度(靜態閉管測試): 600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃ 300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃ ◆單點溫度穩定性(靜態閉管測試): 600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃/24h 300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃/24h ◆溫度斜變能力: 大可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min 大降溫速度(1300~900℃):5℃/min ◆氣體流量設定精度:±2%FS ◆氣路系統氣密性:1×10-7PA.m3/s ◆自動送料裝置行程:~2000mm 速度:5~1000mm/min SiC漿承重 19kg ◆裝片數量 400片/管 ◆凈化臺潔凈度 100級(10000級廠房) ◆三相五線制 380V±10%,50Hz±10%Hz; ◆冷卻水:2~4Kgf/cm2,~8L/min 太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式 ◆閉管磷擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,偏磷酸、CL2分開收集處理;工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;各種工藝氣體可分開送 入石英管內,工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾,工藝質量 完全受保護。 ◆自動化程度:自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口,可在達到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式:懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉機構受腐蝕,影響推拉機構的精確性。