青島福潤德牌太陽能光伏擴散爐

工作溫度：300~1300℃ 
　　◆有效口徑根據(jù)用戶擴散片確定，可訂制 
　　◆恒溫區(qū)長度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制） 
　　◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測試）： 
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ 
　　◆單點溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測試）： 
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h 
　　◆溫度斜變能力： 
　　大可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min 
　　大降溫速度（1300～900℃）：5℃/min 
　　◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS 
　　◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s 
　　◆自動送料裝置行程：~2000mm 
　　速度：5~1000mm/min 
　　SiC漿承重 19kg 
　　◆裝片數(shù)量 400片/管 
　　◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房） 
　　◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 
　　◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 
　　太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式 
　　◆閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送       入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量      完全受保護(hù)。 
　　◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進(jìn)口，可在達(dá)到±0.25℃的控制精度。 
　　◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構(gòu)受腐蝕，影響推拉機構(gòu)的精確性。