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| ウエハー(10Kフランジ適用) |
| 本體材質(zhì) | FC200 |
| 要部材質(zhì) |
CAC406 ゴム(NBR) |
| 使用圧 | 1.37MPa(-10～80℃) |
| 寸法(インチ) | 寸法(ミリ) | L | 備考 |
| 2インチ | 50mm | 54 |
急閉式による靜かな閉止 ソフトシールによるリークゼロ コンパクトな配管寸法 デュアルチェッキ弁の項(xiàng)をご參照ください バイパス弁付も製作できます |
| 2 1/2インチ | 65mm | 54 | |
| 3インチ | 80mm | 57 | |
| 4インチ | 100mm | 64 | |
| 5インチ | 125mm | 70 | |
| 6インチ | 150mm | 76 | |
| 8インチ | 200mm | 95 | |
| 10インチ | 250mm | 108 | |
| 12インチ | 300mm | 143 | |
| 14インチ | 350mm | 184 | |
| 16インチ | 400mm | 191 | |
| 18インチ | 450mm | 203 | |
| 20インチ | 500mm | 219 | |
| 24インチ | 600mm | 222 |
