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GRISH 液態蠟
一種易清洗、環保型液態蠟,其擁有良好的流動性,可均勻涂布到工件上,質量穩定、無氣泡雜質,適用于高精度的切削、研磨、拋光等制程。
根據加工工藝中溫度要求的不同,本產品分為一般型和耐溫型,型號分別為LW-NT-100和 LW-HT-100。
產品規格
項目 | 一般型液態蠟 LW-NT-100 | 耐溫型液態蠟 LW-HT-100 |
外觀 | 橘黃色~深褐色透明液體 | 橘黃色~深褐色透明液體 |
粘度(cps) | 20±5 | 55±5 |
固含量(%) | 38±2 | 41±2 |
軟化溫度(℃) | 89 | 97 |
耐受溫度(℃) | 45~50 | 55~60 |
比重 | 0.95±0.02 | 0.95±0.02 |
粘結力(2*2cm2) | >20kgf/cm2 | >20kgf/cm2 |
產品優勢
耐溫型液態蠟應用于對藍寶石材料拋光溫度要求嚴苛的環境,例如CMP帶盤拋工藝,CMP過程中可承受50~60℃的高溫。
產品使用說明
使用條件 | 上蠟 | 下蠟 | |
Wafer 表面溫度 | 陶瓷盤溫度 | 下蠟溫度 | |
一般型 | 70~80℃ | 110~120℃ | 100℃ |
耐溫型 | 80~90℃ | 130~140℃ | 130℃ |
注意事項 | 開封后應盡快使用完畢 |
保存及運輸
1)置于陰涼處,避免日曬、雨淋,室溫下保存。
2)保存期限:10個月。
3)常規包裝為1L/瓶,可根據客戶需要進行調整。
應用范圍
藍寶石襯底窗口片、LED芯片及半導體加工制程:應用在研磨、拋光制程中的藍寶石、硅、碳化硅等基板與載具的貼合。