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應用領域
GKS系列擴散爐主要應用于半導體材料的擴散、氧化工藝，同時也用于石英制品的退火、稀有金屬粉末和發光材料的煅燒等工藝。
主要特點
* 采用高純石英管作為內爐膛，具有優良的潔凈度。
技術參數
設備型號： |
GKS(D)-09/90/3 |
GKS(D)-18/110/3 |
GKS(S)-09/90/3 |
GKS(S)-18/110/3 |
最高溫度： |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
使用溫度： |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
控制精度： |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
溫區個數： |
3個 |
3個 |
6個 |
6個 |
爐管材質： |
高純石英 |
高純石英 |
高純石英 |
高純石英 |
發熱元件： |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
Kanthal電阻絲 |
加熱區長度： |
900mm |
1100mm |
900mm |
1100mm |
爐管尺寸： |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
加熱功率： |
7.5Kw |
15Kw |
15Kw |
30Kw |
