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1350(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(鋁，約125升)500(W)×500(D)×500(H)mm
◆ 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)Φ 400mm ，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó))頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作
◆ 控制系統(tǒng)觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)前級(jí)泵/ 英國(guó)愛(ài)德華爪式干泵 GV80
二級(jí)泵/ 英國(guó)愛(ài)德華羅茨泵 EH250(70L/S)
美國(guó)MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統(tǒng)美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(四路氣體配制)
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
