臭氧是已知可利用的最強的氧化劑之一，在實際使用中，臭氧呈現出突出的殺菌、消毒、降解農藥的作用，是一種高效廣譜殺菌劑。臭氧可使細菌、真菌等菌體的蛋白質外殼氧化變性，可殺滅細菌繁殖體和牙胞、病毒、真菌等。常見的大腸桿菌、糞鏈球菌、金黃色葡萄球菌等，殺滅率在99% 以上。臭氧還可以殺滅肝炎病毒、感冒病毒等，臭氧在室內空氣中弭漫快而均勻，消毒無死角。

臭氧機采用氣相臭氧消毒的主要優點：臭氧的最終分解物是氧氣，無殘留，對環境無任何公害；對所消毒物品，如器皿、餐具、食品等不會有任何殘留物，而且對原有物品的理化性質影響較小；相對于其他消毒方式，如紫外線、藥劑熏蒸等，運行成本較小；適用范圍廣闊，沒有特別的限制條件。

臭氧可對空氣進行殺菌、凈化，預防疾病交叉感染，清除臥室、客廳、廚房、衛生間等處的異味。臭氧氣體對室內的被褥、衣物、地毯、衣柜、鞋柜、錢幣等具有殺菌、消毒、防霉、除塵的功效。我國有些地區陽光日照時間少，濕度大，空氣污染較嚴重，更能顯示出它的特殊作用。