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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 腔體材質(zhì) | 不銹鋼表面處理 | ||
| 供電電源 | AC220V | ||
| 工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵) | ||
| 電源功率 | 0-500W可調(diào) | ||
| 頻率 | 13.56MHz（偏移量小于0.2KHz）頻率偏移量 | ||
| 特性阻抗 | 50歐姆，自動(dòng)匹配 | ||
| 真空度 | 1pa-30Pa | ||
| 氣體路數(shù) | 雙路氣體輸入 | ||
| 氣體流量 | 浮子流量計(jì)0-160ml | ||
| 過(guò)程控制 | PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式 | ||
| 清洗時(shí)間 | 1-99999秒鐘可調(diào) | ||
| 功率大小 | 10-100可調(diào) | ||
| 內(nèi)腔尺寸 | L×W×H? 370×320×130mm?（15L容量） | ||
| 外形尺寸 | 650長(zhǎng)x600寬x高750mm（臺(tái)式） | ||
| 重量 | 95Kg | ||
| 真空泵 | 飛越泵VRD-16 (抽速4.4L/S)含油霧過(guò)濾器或排煙管 | ||
| 真空室溫度 | 小于65°C | ||
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | ||
| 負(fù)壓調(diào)節(jié) | 極限真空調(diào)節(jié)閥 | ||
| 可售賣(mài)地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
