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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 分辨率 | 0.001mm | ||
| 放大倍率 | 28-138X | ||
| 操作方式 | 自動 | ||
| 測量行程 | 300*200*200mm | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 外形尺寸 | 740*1040*1762mm | ||
| 重量 | 325kg | ||
| 承重 | 25kg | ||
| 檢測精度 | （2.6 L/200）μm | ||
| XY軸速度 | 500mm/s | ||
| Z軸速度 | 100mm/s | ||
| 光柵尺 | 1μm工業(yè)級光柵尺 | ||
| 導(dǎo)軌 | 三軸精度直線導(dǎo)軌 | ||
| 圖像傳感器 | 彩色工業(yè)攝像機(jī) | ||
| 光學(xué)鏡頭 | 電子卡位鏡頭 | ||
| 質(zhì)保期 | 12個月 | ||
| 品牌 | 天準(zhǔn)/TZTEK | ||
