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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | horiba | ||
| 產品特性 | EP級內拋光 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 產地 | 日本 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 測量范圍 | 0.6m3/h | ||
| 精度等級 | 1 | ||
| 公稱通徑 | 6mm | ||
| 適用介質 | 腐蝕性氣體 | ||
| 工作壓力 | 1MPa | ||
| 工作溫度 | 25℃ | ||
| 規格 | Z512、Z514 | ||
| 輸出信號 | 0-5V，或者RS485 | ||
| 接口尺寸 | 1/4MVCR | ||
| 潔凈度等級 | EP級 | ||
| 適用設備 | 半導體設備 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 質量流量計 | ||
| 型號 | Z512 | ||
供應Horiba 數字式質量流量計Z514、Z512 流量計
型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選 數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內組裝模擬型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????
產品概述
日本horiba Z514、Z524數字式質量流量控制器屬于SEC-500X系列， 數字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售，我公司提供 Z514、Z524，保修期1年。
產品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地 氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速響應 lt;1秒>4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;
氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；
?SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)
產品參數
規格-數字-模擬轉換模式? |
| 型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGXSEC-Z514MGXSEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX全標準流量(N2 轉換流量)1/2SCCM10SCCM-10SLPM10-50SLM閥門類型O: 通常打開 C: 通常關閉完全關閉控制閥時的流量≤ 2 F.S.流量測量范圍0- of F.S 性*2±1.0F.S.±1.0S.P.(流量>25F.S.)±0.25F.S.(流量≤25F.S.)工作溫度5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)響應≤ 1 秒:超過全流量范圍直線性≤ ±0.5 F.S.反復性≤ ±0.2 F.S.工作壓差值≤ 300 kPa (d)zui大工作壓力450 kPa (g)耐壓1000 kPa (g)外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)流量設定信號0.1 - 5 V DC (2 - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高流量輸出信號0 -5 V DC (0 - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高數字界面地址功能: RS-485 (轉換速度 38,400 bps)F-Net 協議,DevceNet接液部材質316L 不銹鋼(表面拋光)電源 15V±5 150mA-15V±5 150mA信號反應模擬: D-Sub 9-pin (TOP)數字: 2 LAN jacks (TOP)標準接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS安裝方向自由 ? |
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。 訂購注意： ?請提供產品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。 如是設備備件的更換，請提供原產品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。 ? |
本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器 質量流量控制器
進口數字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG
進口 數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
進口 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、
國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F50
