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| 產品參數 | |||
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| 分辨率 | 0.5um | ||
| 放大倍率 | 20~128X | ||
| 操作方式 | 自動 | ||
| 測量行程 | 270×170 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 金屬臺尺寸(mm) | 500×330 | ||
| 玻璃臺尺寸(mm) | 350×250 | ||
| 運動行程(mm) | 270×170 | ||
| 儀器重量（kg） | 168 | ||
| 外形尺寸（mm） | 760×600×900 | ||
| 儀器配件 | 1X 鏡筒（標配） | ||
| 品牌 | 萬濠rational | ||
| 示值誤差 | E1XY=（2.5 L/100）μm | ||
| 品牌電腦 | （標配） | ||
| 操縱桿 | （標配） | ||
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