大腔體等離子清洗機TergeoPRO可處理8英寸

Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機

Tergeo-Pro 等離子系統將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進行調整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統不僅可以調整射頻功率，還可以產生連續或脈沖等離子。脈沖比可以從 調整到小于 1。夸脫室壁結構可實現外部電容耦合射頻電極設計。

以下是典型應用案例：

光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；

在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；

生物醫用涂層前表面處理，提高醫用植入物的親水性；

環氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；

PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室；

改善金屬與金屬或復合材料的粘合；

改善塑料、聚合物和復合材料的粘合；

Tergeo Pro等離子清洗機的產品特點：

1.大型樣品室

針對大尺寸基片而研發設計，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。

2.等離子傳感器

可實時監測等離子狀態，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋，實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。

3.連續或脈沖等離子

脈沖比可以從 調整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數量級。

4 的過程控制功能

壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。

Tergeo Pro等離子清洗機的技術參數：