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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | PIE | ||
| 產品特性 | 石英腔體 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 產地 | 上海 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 產品用途 | 表面清洗 | ||
| 產品別名 | 表面鍵合機 | ||
| 外形尺寸 | 471mm*380mm*478mm | ||
| 重量 | 35kg | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 平面前處理線 | ||
| 型號 | TergeoPRO | ||
Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機
Tergeo-Pro 等離子系統將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進行調整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統不僅可以調整射頻功率，還可以產生連續或脈沖等離子。脈沖比可以從 調整到小于 1。夸脫室壁結構可實現外部電容耦合射頻電極設計。
以下是典型應用案例：
光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；
在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；
生物醫用涂層前表面處理，提高醫用植入物的親水性；
環氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；
PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室；
改善金屬與金屬或復合材料的粘合；
改善塑料、聚合物和復合材料的粘合；
Tergeo Pro等離子清洗機的產品特點：
1.大型樣品室
針對大尺寸基片而研發設計，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。
2.等離子傳感器
可實時監測等離子狀態，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋，實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。
3.連續或脈沖等離子
脈沖比可以從 調整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數量級。
4 的過程控制功能
壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。
Tergeo Pro等離子清洗機的技術參數：
艙體大小 | 內徑230mm，外徑240mm，深度340mm，可容納一個8英寸晶圓， 一個或兩個?25片/50片?6"/4"晶圓的石英舟 |
艙體材質 | 標配為高純度圓柱形石英艙 |
樣品架 | 5mm厚高純石英板，尺寸寬度220mm?x?長度280mm |
常用氣體 | 空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮氣和其他混合氣體 |
氣路控制 | 標配兩路MFC 多可選配三路MFC，0~100sccm之間 控制氣體流量 |
控制系統 | 7英寸電阻觸摸屏操作界面 |
程序控制 | 可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟 |
射頻頻率 | 13.56MHz |
射頻功率 | 標配0~150W，以1瓦間隔連續可調，自動阻抗匹配；可選配300W或500W |
等離子源 | 等離子強度探測器實時定量檢測等離子狀態；電阻耦合電離方式? |
電極設計 | 外置電極設計，可實現更大、更均勻的等離子體體積， 高壓電極不和等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染 |
設備電源 | 220?V/50Hz |
