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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 硅片晶圓曝光機(jī)URE-2000/35 品牌 | 鑫有研SIYOUYEN | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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紫外曝光機(jī)
型號：URE-2000/35
簡單介紹：曝光機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名光刻機(jī), 該型號光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點(diǎn)。
一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
3、自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；
