| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
|---|
| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM |
|---|
| 可氣體 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉換） |
|---|
| 響應 | 2秒以內 |
|---|
| 精度 2） | ±1.0F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） |
|---|
| 溫度系數 | ±0.2F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4F.S./℃ |
|---|
| 再現性 | ±0.2F.S. |
|---|
| 耐壓 | 980ｋPa(G) |
|---|
| 允許周圍溫度 | 5～50℃ |
|---|
| 允許保管溫度 | -10～60℃ |
|---|
| 允許工作濕度 | 10～90RH （無結露） |
|---|
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，FKM（可選NBR，CRP） |
|---|
| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 |
|---|
| 數字通信 | RS 485（MODBUS協議，RTU模式）ID：1-247 |
|---|
| 所需電源（DC） | 24VDC(±10) 100mA以下 |
|---|
| 接頭 | 1/4F900（標準） | 3/8F900（標準） |
|---|
| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D |
|---|
| 安裝姿勢 | 水平方向 |
|---|
| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點（額定值：DC30V 50ｍA） |
|---|
| 輸出數量 | 2點（每個輸出可以選擇并設置為瞬時流量上限，下限，上限/下限或積分到達，積分脈沖也可以在1點選擇。）輸出反轉是可能的 |
|---|
| 活動展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 |
|---|
| 模擬輸出 4） | ①4～20mA (500Ω以下) ②0～5V (10kΩ以上) ③1～5V (10kΩ以上) |
|---|
| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） |
|---|
.jpg)
.jpg)
.jpg)
