真空等離子清洗機，射頻發生器分為40KHz、13.56MHz和2.45GHz。用戶可以根據產品的需求來選擇相對應的機型，我們也可以按照用戶的要求去進行生產，全方位滿足用戶需求.

? ? ?通過對物體表面進行等離子轟擊，可以達到對物體表面的蝕刻，活化，清洗等目的。可以顯著加強這些表面的粘性及焊接強度，等離子表面處理系統現正應用于LCD，LED，IC，PCB，SMT，BGA，引線框架，平板顯示器的清洗和蝕刻。等離子清洗過的IC可顯著提高焊線強度，減少電路故障的可能性。殘余的感光阻劑、樹脂，溶液殘渣及其他有機污染物暴露于等離子體區，短時間內就能清除。PCB制造商用等離子蝕刻系統進行去污和蝕刻來帶走鉆孔中的絕緣物。對許多產品，不論它們是應用于工業。電子、航空、健康等行業，可靠性都依靠于兩個表面之間的粘結強度。不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的復合物，等離子體都有潛能改進粘著力，提高最終產品質量。等離子體改變任何表面的能力是安全的、環保的、經濟的。它是許多行業面臨的挑戰問題的可行的解決方案。

等離子處理的原理:
給一組電極通上射頻電源，電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對物體表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到表面處理的目的。
在整個等離子處理過程中，影響等離子處理效果的要素包括過程溫度、射頻功率、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等等。

PT-5ST
腔體材質：? ? 不銹鋼表面處理
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-300W可調（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數： 雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-99999秒鐘可調
功率大小 10-100可調
內腔尺寸 Φ150×270Lmm? ? ?5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵： 2XZ-4（抽速4L/S）?
真空室溫度： 小于30°C
冷卻方式： 強制風冷