真空/壓力傳感器
測量類型絕對的
傳感器溫度控制在100攝氏度
滿量程壓力范圍0.05、0.1、0.25、1、2、10、20和100托
準確讀數的0.25
<1托和0.05托為0.5
模擬輸出0-10 VDC輸入 3E10K負載
零溫度系數1-100托范圍內為滿量程的0.002/℃
0.1托時為0.01滿量程/℃
0.05托時為0.02滿量程/℃
跨度溫度系數讀數的0.02/℃
工作溫度范圍15-50攝氏度
卷6.3毫升
預熱時間1托或更高壓力下2小時
<1托4小時
過壓極限45 psia (310 kPa)或120滿量程，以較大者為準
暴露材料鎳基合金
電源要求15伏直流5 @ 0.6安培(最大值)
服從
MKS 真空閥622a-12tae MKS 真空閥622a-13tde MKS 真空閥622a-13595
MKS 真空閥622b-11tde MKS 真空閥622a-01tbe
MKS 真空閥626A11TDE
MKS 真空閥626A11TBE
MKS 真空閥626B-30415
MKS 真空閥626A13TDE
MKS 真空閥631D13TBFH
MKS 真空閥631C11TBFH
MKS 真空閥628B12TBE2B
MKS 真空閥628A13TBE
MKS 真空閥626b01tde4
MKS 真空閥628b12tbe1b
MKS 真空閥626B11TDE
MKS 真空閥E28D.1TDF6B
MKS 真空閥E28D01TDE1B
MKS 真空閥E28D.1TD6B
MKS 真空閥E28d-23747 MKS 真空閥628F1TBF1B
MKS 真空閥628D01TBE1B
MKS 真空閥628B01TBE1B
MKS 真空閥628B01TEE1B