高真空排氣臺(tái) 分子泵機(jī)組 超高真空系統(tǒng)

本設(shè)備適用于多種密閉性容器的抽真空排氣作業(yè)，包括：霓虹燈，半導(dǎo)體，低溫容器，

實(shí)驗(yàn)室裝備等。

    設(shè)備采用的分子泵為耐大氣壓啟動(dòng)分子泵，前級(jí)泵配置油逆止閥，實(shí)現(xiàn)泵無返油現(xiàn)象，

在切斷電源或突然斷電后，防止返油和真空倒抽，進(jìn)而完全避免了油蒸汽污染真空腔室

的可能。設(shè)備配置的高真空擋板閥采用了焊接式波紋管密封，漏率值達(dá)到了5.0x10^-12Pa，

設(shè)備極限真空達(dá)到了1.5x10^-5Pa。設(shè)備實(shí)現(xiàn)了結(jié)構(gòu)緊湊、密封性能好、低能耗、性能穩(wěn)定、

操作簡便、方便移動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。

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設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

1、自然風(fēng)冷，無需水冷，方便移動(dòng)；

2、使用電壓：220V,380V；

3、設(shè)備總功率：1.3千瓦，2.5千瓦，3千瓦；

4、極限真空：1.5x10^-5Pa；

5、設(shè)備重量：85公斤，120公斤，155公斤等；

6、抽氣速率：300L/s,600L/s,1200L/s等；

7、其他：開機(jī)即可工作，無需預(yù)熱等待；

8、進(jìn)氣接口一個(gè)或多個(gè)。