1、?系統(tǒng)概述

1.1 智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全；

1.2 防腐裝置；

1.3設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過(guò)程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；

1.4 通信接口，藍(lán)牙連接；

2、處理腔體

2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸?(241毫米)；

2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，無(wú)需更換片托；

2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)；

3、?旋轉(zhuǎn)馬達(dá)

3.1 轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足0-12,000rpm；

3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；

3.3 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過(guò)±1；

4、控制系統(tǒng)

4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ，精度不超過(guò)0.1s；

4.2?配有高精度PLC可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006；

4.3 可存儲(chǔ)不少于20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可設(shè)置不少于51個(gè)不同步驟的速度狀態(tài)；

4.4 分辨率要小于0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有國(guó)際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并且無(wú)需再校準(zhǔn)；

5、配套泵浦

5.1 配套真空泵系統(tǒng)：無(wú)油型?220~240伏交流，50/60赫茲；

5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；

6、系統(tǒng)附件

6.1 原裝進(jìn)口水平測(cè)試儀；?

6.2 兩袋密封圈；?

6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元；

6.4 UD自動(dòng)滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；

6.5 EBR晶圓去邊，機(jī)械裝置；

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