Tergeo等離子清洗機是用于研究實驗室和小批量生產的自動臺式等離子清洗機。

典型應用:

1）引線jainhe鍵合、倒裝芯片底部填充、器件封裝；

2）用于碳質污染物去除和氧化物還原的SEM/TEM樣品清潔；

3）生物醫用涂層前的表面處理及提高醫用植入物的親水性；

4）環氧樹脂粘合前的光學、玻璃和基板清潔；

5）光刻膠灰化、去渣和硅晶片清洗

PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室；

6）金屬與金屬或復合材料改進結合

塑料、聚合物和復合材料改進粘合；

特點/優勢：

1、擁有雙等離子體源

兩種清洗模式:直接模式和下游模式。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠程/下游模式等離子體清洗，用于溫和去除表面污染物，例如SEM/TEM脆弱易碎樣品清洗。

直接/浸入式清洗模式

遠程/下游式清洗模式

2、等離子傳感器

可實時監測等離子狀態，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋，實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。

3、連續或脈沖等離子

脈沖比可以從100 調整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數量級。

4、先進的過程控制功能

壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、雙等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。

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技術參數：

1、控制系統

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。

2、反應腔體

1）腔體材質：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內徑：110毫米，深度：280毫米。

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續可調，可選0~150W。

4、等離子源

1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1）氣路控制：標配兩路MFC；可選配三路MFC；

2）質量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

邁可諾技術有限公司

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