ABRS超 轉(zhuǎn)臺(tái)

ABRS氣浮軸承 運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)擁有一個(gè)低矮的外形輪廓，并且能夠提供 角度定位精度， 的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS 轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測(cè)， 測(cè)量，激光衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)和制造以及納米制造技術(shù)。

特點(diǎn):

1.無(wú)刷無(wú)槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

2 的速度穩(wěn)定性（無(wú)齒槽效應(yīng)）

3 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)

4.直連式 圓光柵反饋

5.扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

6.氣浮軸承，無(wú)機(jī)械接觸

臺(tái)面直徑：128~278mm

反饋分辨率：0.036~0.18?arc?sec

雙向重復(fù)定位精度 lt;1arc?sec

定位精度：?2?arc?sec

異步軸跳：?20nm

異步徑跳：?20nm

ALAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1.5種不同的孔徑尺寸：100mm,150mm,200mm,250mm,325mm

2.持續(xù)或有限的行程

3.300-1000lb的高軸向負(fù)載能力

4.寬大的軸承能提供較高的有效負(fù)載和瞬間負(fù)載能力

5 的精度和重復(fù)定位精度

6.抖動(dòng)和跳動(dòng)小

7.無(wú)接頭電機(jī)提供平滑運(yùn)動(dòng)

8.無(wú)回差效應(yīng)

9.精度不隨齒輪的磨損而改變

10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速

11.有效負(fù)載必須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的 選擇，AZ滾動(dòng)萬(wàn)向架應(yīng)用的重要選擇

12.10-6torr真空環(huán)境選項(xiàng)可選

孔徑325mm

精度3.9arcsec

負(fù)載6463N

ALAR型號(hào)：

ALAR-34E-A010

ALAR-34E-A011

ALAR-34E-A012

ALAR-34E-A013

ALAR-34E-A014

ALAR-34E-A015

ARMS超 模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái)

1.為超 運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。

2.無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，可選更高速度和力矩電機(jī)。

3.突出的速度穩(wěn)定性。

4 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)

5.有效載荷達(dá)230?kg

6.預(yù)裝有集流環(huán)

臺(tái)面直徑：146~260mm

反饋分辨率：0.02~4?arc?sec

雙向重復(fù)定位精度?0.5?arc?sec

定位精度?????????2.5?arc?sec

速度波動(dòng)率???????0.0001

ADR系列 轉(zhuǎn)臺(tái)

ADR系列直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)提供 的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片 檢測(cè)。

特點(diǎn)：

1.無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

2.無(wú)齒槽設(shè)計(jì)提供 的速度穩(wěn)定性

3 的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng)

4.直連式 圓光柵反饋

5 機(jī)械軸承支撐

6.載荷可達(dá)150kg

臺(tái)面直徑：57~240mm

反饋分辨率：0.036~13?arc?sec

雙向重復(fù)定位精度：?1arc?sec

定位精度：?2?arc?sec

軸跳：?0.5um

徑跳：?1um

ADR-34E-B042

ADR-34E-B043

ADR-34E-B044

ADR-34E-B045

ABRT超 轉(zhuǎn)臺(tái)

1X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)

2

3

4 的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)

5 旋轉(zhuǎn)編碼器

6

7

臺(tái)面直徑100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

雙向重復(fù)定位精度<1arcsec

定位精度?<2?arc?sec

異步軸跳?<20nm

異步徑跳?<20nm

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