芯明天P11系列壓電納米定位臺放大機構式平移臺位移臺

P11 系列壓電納米定位臺為小體積 1~3 維壓電平移臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現 100μm 位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有高導向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性可達納米量級，定位穩定時間為毫秒量級。壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，且體積小、結構緊湊、易于集成。

特點：

? 1~3 維運動 ? 位移可達 300μm ? 體積小巧 ? 毫秒級響應時間 ? 納米級定位精度 ? 真空版本可選