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| 產品參數 | |||
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| 型號規格 | LT7130/G/U | ||
| 激光波長 | 1064nm/532nm/355nm | ||
| 激光功率 | 8W/5W/3W | ||
| 對焦方式 | 自動 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 激光束運動范圍 | 60mm X 60mm | ||
| 運動分辨率 | 0.76μm | ||
| 激光束重復定位精度 | ±2.5μm | ||
| 運動方式 | 平面電機或直線電機 | ||
| 運動范圍 | 290mm*260mm | ||
| 重復定位精度 | ±1μm | ||
| 運動速度（空載） | 900mm/s | ||
| 測量速度 | 25μs/次 | ||
| 探針板規格 | 標準P48 | ||
| 品牌 | 三工精密 | ||
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