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等離子刻蝕機PlasmaStar200RIE反應離子蝕刻機

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產品價格: 100.00/人民幣 
最后更新: 2023-12-14 08:02:42
產品產地: 湖北武漢
發貨地: 湖北武漢 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 93
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  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經理先生 銷售經理
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    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機18221354817
    • 電話
    • 傳真
    • 地址武珞路628號亞洲貿易廣場
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    產品詳細說明
    產品參數
    品牌PlasmaSTAR
    是否支持加工定制
    是否進口
    射頻頻率13.56 MHz
    射頻功率0~1000W瓦之間距連續可調,自動匹配
    工藝氣體標配2路MFC,最多可選配5路
    控制系統7英寸觸摸屏操作界面
    程序控制PC觸屏控制,可編程序,無線存儲數據
    設備尺寸寬1033 x 深850 x 高635mm
    可售賣地全國
    材質硬質陽極氧化鋁矩形腔體
    型號PlasmaStar 200/PlasmaStar 200

    PlasmaSTAR?系列等離子處理系統適合處理所有的材料,擁有多種腔室和電極配置,可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。占地面積小,用于各種等離子工藝的模塊化腔室和電極配置。此外,觸摸屏計算機控制,多級程序控制和組件控制,操作簡單。PlasmaSTAR?模塊化腔室和電極組件是該系統的獨特功能。 腔室材料是硬質陽極氧化鋁, 有幾種不同的電極設計,包括用于反應離子刻蝕(RIE)和平面處理的水冷平板電極,用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,用于最小化離子損傷的下游電極,和用于普通的圓柱形籠式電極。


    技術參數:

    1、腔體尺寸:PlasmaStar 200 寬305×高305×深406mm;PlasmaStar 200RIE 寬305 ×高200×深406mm;

    2、腔體材質:硬質陽極氧化鋁矩形腔體;

    3、處理腔背面材質:鋁;

    4、處理腔門:要求全自動腔門;

    5、標配2路MFC工藝氣體,PlasmaStar?200最多可選配5路,流量控制器控制氣體流量,氣體輸入腔室帶勻流設計;

    6、射頻功率:0~1000W瓦之間距連續可調,自動匹配,自然風冷;7、標準圓柱形籠式電極,可選交替多層托盤電極,可選RIE平面處理水冷平板電極;

    8、7英寸及以上顯示器、觸摸屏、圖形用戶界面;

    9、程序控制:觸摸屏電腦控制,無線程序存儲;

    10、Windows操作系統,兼容Windows office軟件,USB接口,可進行外部電腦遠程控制的功能;

    11、狀態和出錯信息提示,過程數據和出錯信息存儲,可選擇自動和手動操作模式,過程數據可以導出,工藝參數以圖形方式呈現,可實時監控,自動實現泄露檢測;

    12、配套緊急急停按鈕(EMO),配套電路斷路器,機械聯鎖(門傳感器)和真空聯鎖(壓力開關),通過軟件可進行遠程的真空聯鎖;

    13、典型的光刻膠刻蝕速率:80nm/min;

    14、典型工藝均勻性:≥±10;


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