勻膠機美國LaurellHL-650Mz-23NPPB，甩膠機，勻膠旋涂儀

一、產品概述：

????最新款?HL-650MZ-23NPPB勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動，可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是H6勻膠機的特點。

二、勻膠機工作原理：

勻膠機?HL-650MZ-23NPPB的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

三、勻膠機?HL-650MZ-23NPPB 主要性能指標：

1、Windows 10平板電腦，SPIN 3000 PC觸摸界面軟件輕松編程；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，（小于10mm可選配托盤）；

3、轉動速度：0-12,000rpm；?

4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec；

5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差<±1；

6、轉速調節精度：不超過1rpm，不超過1rpm；

7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

9、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；

10、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！

11、配套真空泵系統：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；

12、原裝進口水平測試儀；?

邁可諾技術有限公司

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