格里爾斯GRYLLS-C-310系列模擬量質量流量計/控制器（小量程）技術參數：

量程范圍：5SCCM ～ 30SLM

準確度：±1.0F.S

溫度：±1℃

線性：±0.5F.S

重復精度：±0.2F.S

響應時間 lt;2s <1.5s

模擬量：0 ～ 5V、4 ～ 20mA

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0 ～ 50℃

工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa?

工作壓降 lt;30Kpa

耐壓：3MPa/10MPa

電氣連接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度系數：±0.015F.S/℃

底座材質：316L

密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"

GRYLLS-C-310系列 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。