標氣配比器動態稀釋配氣儀動態氣體配氣儀2-4路環保運維監測

　　項目

　　參數

　　指標

　　基本單元

　　(稀釋配氣部分)

　　稀釋氣流量范圍

　　(0~5) SLPM、(0~10) SLPM、(0~20) SLPM 可選

　　標氣流量范圍

　　(0~50) sccm、(0~100) sccm、(0~200) sccm 可選

　　流量控制準確度

　　±1F.S.

　　流量線性

　　± (0.5~1)F.S.

　　流量控制重復性

　　± 0.2F.S.

　　標氣輸入口

　　3 個

　　稀釋氣輸入口

　　1 個

　　響應時間

　　60 s (98)

　　整機

　　電源

　　100 V AC ~ 240 V AC；45 Hz ~55 Hz

　　儀器尺寸（H×W×D）

　　178 mm×432 mm×620mm

　　重量

　　<10 kg（基本單元）

　　工作溫度

　　5℃~40℃

　　工作濕度

　　0~95 RH

　　通訊方式

　　支持 RS232、RS485 和以太網通訊（選配）