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氦質譜檢漏儀

噴氦法

噴氦法是，的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴槍向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內的氦分壓就會上升，氦檢漏儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標準漏率值是定在多少，超過標準漏率值的可視為不合格。

噴氦法檢漏中應該注意以下幾個問題：

1、實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴槍噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。

2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。

3、檢出的大漏孔要經修補后再去漏孔。

4、當存在兩個相距很近的的漏孔點時，應先把一個點蓋住，在對另一點用細的噴槍進行噴氦。

5、當噴槍噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。

6、檢出漏孔后，還應再做幾次復檢。

7、檢漏場地要有良好的通風條件，但也不能太大，不應影響噴槍噴出的氦氣氣流的方向。

氦質譜檢漏儀進展集中體現如下方面

1.智能化：以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助，而現在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節0點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類

真空泵(vacuum pump)

利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械 航天等部門。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體輸送泵包括：1、液環真空泵(水環真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。

目前工業中應用較多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往復式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結晶，干燥，過濾，蒸發等工藝過程中更為適宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )