HP90：美國Torreypines的一款加熱臺，可編程，精度大

?面板尺寸：圓形，直徑352mm
?面板材質：鋁
?適用硅片：直徑小于305mm
?控制方式：標配的臺式控制器可進行遠程編程控制，也可通過RS232 I / O端口進行PC或工業控制器遠程控制
?程序控制：可設置5個程序，每個程序可設置10個步驟，程序可進行1-99次或無限次循環
?加熱板底部有溫度指示燈環，未運行時為藍色，加熱并溫度低于50℃為黃色，高于50℃時為紅色。當溫度穩定在±0.2℃時燈光閃爍。
?內置可聲音報警倒計時器，并可設定自動關閉
?溫度范圍：室溫到350℃
?溫度可讀性：1℃
?溫度精度：設置溫度的1，已校準到0.1℃以保證準確性
?溫度均一性：中心點到19mm半徑以內的溫度差小于1
?溫度穩定性：±1℃
?溫度梯度范圍：1-450℃/hr，1℃可調
?功率：1500w

加熱面板規格：
外形：直徑352mm，高146mm
重量：9.5kg

控制器規格：
外形：長127mm x寬64mm x 高102mm
重量：0.5kg