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勻膠機Laurell自動滴膠WS-650MZ-23NPPB\/UD3B

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產(chǎn)品價格: 10.50/人民幣 
最后更新: 2024-01-31 23:06:21
產(chǎn)品產(chǎn)地: 湖北武漢
發(fā)貨地: 湖北武漢 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 67
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經(jīng)理先生 銷售經(jīng)理
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機18221354817
    • 電話
    • 傳真
    • 地址武珞路628號亞洲貿(mào)易廣場
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    勻膠機 Laurell 自動滴膠 WS-650MZ-23NPPB/UD3B 品牌Laurell
    是否支持加工定制
    是否進口
    操作方式智能程控
    轉(zhuǎn)速范圍0-12000rpm
    加速度范圍0-12000rpm
    工藝時間1-5999.9 sec/step
    存儲程序20條
    程序步驟51步
    轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
    處理基片尺寸10-150mm
    腔體材質(zhì)NPP聚丙烯
    可售賣地全國
    型號WS-650Mz-23NPPB

    1?系統(tǒng)概述

    1.1 智能嵌鎖,系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置,確保操作安全;

    1.2 防腐裝置;

    1.3設有保護氣體裝置:旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達進行氣流保護;

    1.4 通信接口,藍牙連接;

    2、處理腔體

    2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸?(241毫米);

    2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,無需更換片托;

    2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì);

    3?旋轉(zhuǎn)馬達

    3.1 轉(zhuǎn)動速度至少滿足0-12,000rpm;

    3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;

    3.3 馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過±1;

    4、控制系統(tǒng)

    4.1工藝時間設定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ,精度不超過0.1s;

    4.2?配有高精度PLC可編程的控制器,設置點精度小于0.006;

    4.3 可存儲不少于20個程序段,每個程序段可設置不少于51個不同步驟的速度狀態(tài);

    4.4 分辨率要小于0.5RPM,重復性誤差要小于±0.5RPM,具有國際NIST標準認證,并且無需再校準;

    5、配套泵浦

    5.1 配套真空泵系統(tǒng):無油型?220~240伏交流,50/60赫茲;

    5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié),抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ;

    6、系統(tǒng)附件

    6.1 原裝進口水平測試儀;?

    6.2 兩袋密封圈;?

    6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元;

    6.4 UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒;

    6.5 EBR晶圓去邊,機械裝置;

    邁可諾技術有限公司

    客服熱線:4008800298

    Q Q:3488598979



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