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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 數量 | 10 | ||
| 影像系統 | 100萬～400萬像素可選 | ||
| Z軸行程 | 100mm，電動 | ||
| Z向掃描范圍 | 10mm | ||
| Z向分辨率 | 0.01nm | ||
| 可測樣品反射率 | 0.05-100 | ||
| 粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | ||
| 臺階高測量 | 準確度0.3，重復性0.08 1σ | ||
| 主要特點 | 非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效 | ||
| 生產企業 | 深圳市中圖儀器股份有限公司 | ||
| 光學ZOOM | 0.5×（0.75×，1×） | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 白光干涉儀 | ||
| 型號 | SuperViewW1 | ||
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